By 元利工業應用部 黃昱山

相信多數人在求學過程中，一定都使用過顯微鏡。顯微鏡除了可用於學術研究，鑑於科技產品有越做越小的趨勢，顯微鏡也成為科技業不可或缺的儀器。特別是在台灣的半導體產業，許多廠房或實驗室都可見到顯微鏡的身影。如果將半導體製造設備比喻為人的雙手，那麼顯微鏡就可說是人的眼睛。不過，在哪些情況下顯微鏡會派上用場呢？

產品檢驗

晶圓廠為了確保良率，必須設置檢驗關卡，因此無論是晶圓傳輸設備或當前熱門的AI檢驗設備，都會將顯微鏡一併整合在設備中。

（圖片來源：https://www.pva-spa.com.tw/product/bt12/）

觀察製程狀況

晶圓切割後的晶粒，會透過打線機將晶粒上的接點以極細的金線連接到導線架上的內引腳（稱為打線接合）。若將顯微鏡設置於打線機上，並將IC晶粒的電路訊號傳輸到外界，就可隨時透過影像掌握打線狀況。
在捲帶式自動接合製程（chip on film）中，也可利用顯微鏡輔助觀察捲帶式自動接合機的運作情況，確保晶片與在高分子捲帶上的金屬電路進行對位後，仍然保持連接狀態。另外，在金線的打線接合或是捲帶式接合完成後，還必須進行焊線或晶片貼合的拉力測試。因此在使用拉力測試設備時，可配合顯微鏡的觀察輔助來確認製程是否達到標準。