元利儀器整合OLYMPUS自動化顯微設備與平田機工（Hirata）所研發的晶圓傳送設備，將為半導體廠商帶來更為便捷快速的半導體檢驗工具。

平田機工為國際級生產設備製造商，1951年創於日本熊本市，2006年在台灣設立分公司，以日本核心技術在台製造專業生產設備，為台積電、聯電、友達、群創等科技廠提供最佳解決方案。

元利儀器整合機械手臂與工業顯微鏡，能有效優化半導體生產流程。

平田機工開發的晶圓傳輸設備具有自動化機械手臂，不僅能快速移動晶圓，更同時保持動作的高精準度，確實抓取晶圓至定位。加上完善的防護措施，讓操作人員能在無塵室內安全操作機械手臂，同步利用OLYMPUS工業顯微鏡來找出晶圓瑕疵，從而改善整體製程，進而推升產品品質，實現自動化檢驗晶圓的工作流程。
元利儀器台北總公司與台中、高雄分公司的專業人員在平田機工的協助下，已完成此整合機台的操作維修教育訓練，可即時為客戶提供最完善的服務。

晶圓傳送設備