元利儀器長期提供半導體產業優異的顯微設備，針對半導體檢查需求，元利儀器成功開發新一代「晶圓檢查機」，將能幫助更多廠商快速改善光學檢查程序。
隨著全球半導體市場逐年成長，半導體廠除了加速擴產，也持續追求良率提升。欲改善現有產線的效率，關鍵之一便在於晶圓檢查設備。由元利整合研發的晶圓檢查機，專為半導體產業所設計，實現更為便捷的檢查流程。

晶圓檢查機透過機械手臂移動晶圓，實現高效率檢查流程。

過往許多晶圓檢查機在進行微觀觀察（micro inspection）時，若要觀察晶圓特定區塊，僅能以手動操作進行對位，不僅過程繁瑣，更耗費許多時間。而由元利儀器所開發的晶圓檢查機，只需點選欲觀察的晶圓區塊，內建的「自動對焦顯微系統」就能快速定位，立即顯示該區塊影像。另外在觀察時，操作者還能同步建立影像檔案，或使用量測功能，測定出各種細小的瑕疵尺寸，以便未來進行深入分析。
此款晶圓檢查機為一體式設計，能確保晶圓在檢查過程中不受汙染。規格設計皆符合國際安全規範，操作人員可安心透過自動化機械手臂進行操作。此晶圓檢查機適用於多種尺吋晶圓，元利儀器更提供多種客製化選項，為廠商設計最佳解決方案。

如有任何需求，請洽詢元利儀器台北總公司與台中、高雄分公司專員，或可填寫線上表單（連結：https://www.surveycake.com/s/[email protected]&ssn6=opt_11142114），將有專人服務。