2023國際半導體展登場 自動化檢測機台助晶片製造一臂之力

2023.09.06

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半導體界最大盛事「2023 SEMICON Taiwan」,於明(9/6)起台北南港展覽館1館與2館盛大登場。元利儀器將於本次展會展示代理的EVIDENT產品及自行開發的機台,並提供技術諮詢服務,為半導體產業給予獨特解決方案。

台灣半導體產業為全球供應鏈不可或缺的環節,近期爆發性成長的AI,更是驅動半導體產業的新動力;尤其可使晶片在更小體積中,展現更高性能的先進封裝需求爆發。當晶片朝向越小、越薄的方向設計,晶圓檢查設備更是確保半導體產線良率的要角。

本次元利儀器展示的顯微鏡包括顯微鏡BX與MX系列、DSX1000數位顯微鏡、OLS5100 3D雷射共軛焦顯微鏡。展出的各台顯微鏡,可依據所需的製程階段,可搭配不同倍率(其中OLS5100的倍率高達1萬7千倍)進行量測;滿足晶圓檢查、粗糙度量測、樣品分析等各種需求。

除此之外,元利儀器自行開發的晶圓檢查機WLS3200,可透過電動手臂拿取晶圓,並自動尋邊、翻面,快速進行晶面與晶背巨觀檢查流程。WLS3200另搭載全自動對焦顯微系統,使用者只須透過滑鼠點選,就能檢視晶圓細部結構。其一體式規格設計更符合國際安全規範,能確保晶圓檢查流程安全無污染。

元利儀器攤位地點:南港展覽館1館1樓/編號:I2420

YT_Yang

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