作者：工業應用部 蘇振瑋／編輯：楊雅棠

手機搭載人臉辨識功能已幾乎成為標配，除此之外搭載前後鏡頭3D感測測距、影像傳導、虛擬實境的高階智能手機也日益增加。這些功能的出現造就3D感測元件垂直共振腔面射型雷射（VCSEL，Vertical-Cavity Surface-EmittingLaser）應用需求與日俱增，而一支手機須導入數十顆VCSEL光源元件才能提供精準度和效率。VCSEL是一種半導體雷射，設計從共振腔架構在晶片平面上發射採一面發光方式，其雷射垂直於頂面射出，與一般用切開的獨立晶元製程，由邊緣射出的邊射型雷射有所不同。

它的光束發散角度小、閥值電流低，可加快光纖連線速率。因此可廣泛應用於3D感測、資料中心、遙測、無人機，甚至自動駕駛等光通訊和測距技術中，逐漸成為新一代的關鍵元件之一。由於VCSEL 的氧化製程非常重要，氧化孔的型態及大小關乎雷射的發光效率及品質；而這細小的氧化孔徑則需要透過精密的光學測量儀器來檢查。

OLYMPUS STM7搭配偏光微分干涉觀察方式及長焦對焦鏡頭不僅可精確目檢光窗（Window）和波導（waveguide）外，也可針對共振腔（SWCNT）內部發射傳輸通道的缺陷或是LD載具是否在允許誤差範圍的位置內進行檢查。