By 元利工業應用部

光學薄膜是一種可以改變光波傳導的元件，廣泛應用在生醫、智慧感測、半導體等產業。生產光學薄膜的過程十分精密，除了需考量光學校能表現，製程中也得時常檢驗有無顆粒意外夾入，造成光學薄膜變形。膜變形在顯微鏡明視野的狀況下十分難以觀察（如圖一），需要改變傾斜角度，使光影更加明顯，才能達到檢測效果。
但如果樣品過大，就不易增加傾斜角度，或即使傾斜後也無法輕易取像，這些狀況都會增加檢測難度。此時最好的辦法，就是利用微分干涉差（DIC）觀察法。即使無傾斜角度，也可以輕易檢測出膜變形的狀況（如圖二、三）。

圖一：明視野下難以觀察膜變形。

圖二：利用微分干涉差可清楚觀察膜變形狀況。

圖三：微分干涉差觀察法能大幅提高薄膜對比。