2024 SEMICON Taiwan 元利儀器攜多元精密檢測方案登場

2024.09.05

全球最大半導體年度盛會2024 SEMICON Taiwan昨（9/4）登場。為期三天的展覽橫跨台北南港展覽館1館與2館，超過1000家國內外廠商與會，盛況空前。元利儀器現場展出EVIDENT等品牌精密檢測儀器及自行研發的自動檢測機台，提供產業研發客戶更多元及快速的精密檢測方案。

今年展會主題為「打破極限：推動 AI 時代」。元利儀器自行研發的自動化晶圓檢查機 WLS3200除延續以往只須滑鼠點選，晶圓原片就能自動從天車進站至機台進行對位、以全自動對焦顯微系統快速檢查的功能外，今年更升級增加Ai缺陷檢測功能。

過去須由人工判定晶圓是否合格，透過Ai自動找出髒汙、刮痕，可更快速找出缺陷位置及計算尺寸，並可依據客戶需求、定義判定產品合格與否，提高生產效率與檢測效度。

現場也展示EVIDENT工業用數位顯微鏡DSX 1000、3D 雷射共軛焦顯微鏡OLS 5100、高速攝影機i-Speed7、工業用內視鏡IPLEX Series等。其中，DSX 1000相較一般金相顯微鏡，不僅放大倍率高達7000x，更能一鍵完成6種觀察法，快速完成故障分析。OLS 5100則可進行次微米尺度的量測，再細微的粗糙度和IC布局，都能輕鬆掌握。

針對半導體樣品內部檢測，元利儀器也引進Bruker 3D XRM全新展示機，不僅能「透視」產品內部並快速建構3D結構，有助於控制品質和製程。如有相關的檢測或服務需求，皆可洽詢元利儀器。