全新EVIDENT OLS5500 準確測量值得信賴

專為故障分析和品質控制而設計，Evident 全新推出 LEXT™ OLS5500 高性能混合系統，融合雷射掃描顯微鏡（LSM）、白光干涉（WLI）和焦點變化（FVM）技術，可無縫提供精確的表面細節和自動化智慧工作流程，幫助不同程度的使用者從觀察、檢測測量到決策的過程，更有效率。

半導體和電子元件市場對於「微細加工」的需求不斷增長，從精細結構、細微形貌到透明表面和低對比特徵， LEXT™ OLS5500透過4K 成像、頂部表面檢測濾光片、雷射DIC、雙針孔光學系統和高靈敏度感測器協同工作，展現傳統系統無法捕捉的細節。

OLS5500採用自主研發的光學元件，提供卓越的精密成像。LEXT物鏡可維持整個視野的清晰度和形狀保真度；WLI光學技術則進一步擴大了視野，測量通量比傳統LSM提高達40 倍。

OLS5500是全球首款能夠為LSM 和WLI測量提供保證精度和可重複性的3D光學輪廓儀。確保對各類表面進行一致、高精度測量，即使在最具挑戰性的樣品上也能提供卓越的清晰度、對比度和色彩保真度。符合 ISO 25178-700:2022的標準，可高解析地檢測細微的形貌變化；即使在奈米尺度上，也能確保測量結果高度可靠。

憑藉精準測量多種表面的優勢，OLS5500更榮獲日本設計振興會頒發的2025 年度優良設計獎（Good Design Award 2025）。

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