表面粒子監控裝置 PartSens

• 符合 ISO14644-9 及 VDA19.2 所要求的直接或間接測定之原則，也符合所要求之視斜光系統(Glancing Light System)。
• 符合VDA19.1:2026最新版本黏貼方法(Stamp Test)的要求，可作為乾式萃取(Dry Extraction)的分析方法。
• 偵測粗糙的表面，搭配專用的取樣墊片(Tape Lift Pad)，可以協助完成測定。
• 用取樣墊片，可以完成各種表面測定，包含鞋子、無塵服、任何牆面、地板等，也包含任何設備

• PartSens可依性質:金屬、非金屬、纖維，分別統計三種粒子數量。透過粒子大小，可以進一步判斷污染的來源並採取行動。
• PartSens可量測之顆粒範圍

    非金屬: 2 µm – 3000 µm

    金屬: 25 µm – 3000 µm

    纖維: 50 µm – 3000 µm

進行無塵室評估時，往往是以空氣過濾的結果，即以 5 µm以下的懸浮微粒進行界定。

大於5 µm的懸浮粒子在流程中被忽略，這些大型粒子不僅難以量測也會沉積在無塵室。這些不受控制的異物掉落在生產工具的各個表面，也會持續被人員移動等活動轉移，更難預測動向。因此需要建立有效的清潔流程，來控制大型粒子。

無塵室氣體中，直徑約 5~25um 的粒子，受重量與氣流的作用，通常會在各處落下並堆積，汙染各個表面。 粒子一旦附著在表面之後，就很難透過換氣系統再排除。長時間下來，透過接觸移轉，又將擴大汙染範圍。